熱破壞技術(shù)是廢氣處理應(yīng)用較為廣泛的方法，熱破壞技術(shù)可分為直接火焰燃燒和催化燃燒。

直接火焰燃燒是指將廢氣在氣流中就直接進(jìn)行燃燒或者通過輔助燃料進(jìn)行燃燒。一般情況下，廢氣濃度較低時，沒有輔助燃燒助燃是很難燃燒的。直接火焰燃燒廢氣處理在恰當(dāng)溫度及時間下，熱處理效率可達(dá) 99%。

催化燃燒是指廢氣在氣流中直接加熱，使用催化劑加速廢氣中的有機物化學(xué)反應(yīng)，這種廢氣處理方法相對于直接燃燒法來說，溫度更低以及保留時間更短，但廢氣中含有雜質(zhì)，容易引起催化劑中毒。用于凈化廢氣的催化劑常見的是金屬和金屬鹽，其中金屬又包含貴金屬和非貴金屬。市場上常見的金屬催化劑有 Pt、Pd，具有技術(shù)成熟 、催化活性高等特點，但價格昂貴，而且遇到鹵素有機物時容易發(fā)生氧化反應(yīng)從而使催化劑失去效果。